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      百級無塵室

      日期:2022-06-27 09:39
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      摘要:<p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 世界各國均有自定規格,但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal&nbsp;Standard&nbsp;(FS)&nbsp;209E,&nbsp;1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級、10級、100級無塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35顆/立方英尺) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105120715_4980.jpg" alt="" /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 風系統流程圖 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 系統采用的是全新風空調箱+FFU系統. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> &lt;1&gt;全新風空調箱結構 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> &lt;2&gt;FFU:(FAN&nbsp;FILTER&nbsp;UNIT)&nbsp;即風機和過濾器 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995% </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 水系統水系統流程圖(現場畫) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 冰水系統分為一次側和二次側. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給干盤管系統. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 板式換熱器原理(現場畫圖). </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 干盤管:不結露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進干盤管的冰水溫度在12-14度. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 控制系統(DDC) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 溫度:干盤管系統控制 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;"><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113128_3555.jpg" alt="" /><br /> </span> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;">1.</span><span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;">亂流式</span> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 優點:構造簡單、系統建造成本,無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 2.層流式 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用,一般其無塵室等級為Class&nbsp;1~100。其型式可分為二種: </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑴水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑵垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 3.復合式 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。百級無塵車間, </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑴潔凈隧道(Clean&nbsp;Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易;&nbsp;B.維修設備時可在維修區輕易執行。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑵潔凈管道(Clean&nbsp;Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑶并裝局部無塵室(Clean&nbsp;Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <br /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;background-color:#FFFFFF;"> <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113231_1976.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113243_0185.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113257_7642.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113320_0359.jpg" alt="" /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;text-indent:0pt;white-space:normal;background-color:#FFFFFF;"> &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;歡迎新老顧客來我司參觀洽談..... </p>

      世界各國均有自定規格,但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級、10級、100級無塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)

      風系統流程圖

      系統采用的是全新風空調箱+FFU系統.

      <1>全新風空調箱結構

      <2>FFU:(FAN FILTER UNIT) 即風機和過濾器

      千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%

      水系統水系統流程圖(現場畫)

      冰水系統分為一次側和二次側.

      一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給干盤管系統.

      一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

      板式換熱器原理(現場畫圖).

      干盤管:不結露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進干盤管的冰水溫度在12-14度.

      控制系統(DDC)

      溫度:干盤管系統控制

      濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量

      正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量.


      1.亂流式

      空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

      優點:構造簡單、系統建造成本,無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。

      缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制

      程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。

      2.層流式

      層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:

      ⑴水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。

      優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。

      ⑵垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。

      優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。

      缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

      3.復合式

      復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。百級無塵車間,

      ⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。

      此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。

      潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。

      ⑵潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

      ⑶并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。


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